| c | n | 4-274-02332-X | 超微細加工技術 | 応用物理学会編 | オーム社 | 応用物理学シリーズ | [書誌] |
| c | n | 4-7828-5628-8 | 半導体ドライエッチング技術 | 徳山巍編著 | 産業図書 | 集積回路プロセス技術シリーズ | [書誌] |
| c | n | 9784274023323 | 超微細加工技術 | 応用物理学会編 | オーム社 | 応用物理学シリーズ | [書誌] |
| c | n | 9784782856284 | 半導体ドライエッチング技術 | 徳山巍編著 | 産業図書 | 集積回路プロセス技術シリーズ | [書誌] |
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