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書誌データ
Jcodec
NDCn
code9784-274-02332-3
ISBN139784274023323
商品名超微細加工技術
作者応用物理学会編/徳山巍編著
出版社オーム社
シリーズ応用物理学シリーズ
サイズ-
出版日1997
版刷初版1刷
定価6500
320p
函:帯-:-
解題-


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