書誌データ

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Jcode	c
NDC	n
code	9784-901790-08-6
ISBN13	9784901790086
商品名	半導体製造装置の信頼度向上
作者	坂本雄三郎・ダドゥシア.V.H.（バラッブ・H）
出版社	EDリサーチ社
シリーズ	21世紀のテクノロジ・シリーズ
サイズ	-
出版日	200207
版刷	初版1刷
定価	3800
頁	195p
函：帯	-：-
解題	信頼度の基本と向上への具体的な取り組み

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