書誌データ

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Jcode	c
NDC	n
code	9784-8375-0645-4
ISBN13	9784837506454
商品名	VLSIとCVD
作者	前田和夫
出版社	槙書店
シリーズ	-
サイズ	-
出版日	1997
版刷	初版1刷
定価	6600
頁	410p
函：帯	-：-
解題	半導体デバイスへのCVD技術の応用

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