書誌データ

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Jcode	c
NDC	n
code	9784-7693-1080-8
ISBN13	9784769310808
商品名	VLSIプロセス装置ハンドブック
作者	前田和夫
出版社	工業調査会
シリーズ	-
サイズ	-
出版日	1990
版刷	初版1刷
定価	12136
頁	624p
函：帯	-：-
解題	-

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