書誌データ

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Jcode	c
NDC	n
code	4-7693-1169-9
ISBN13	9784769311690
商品名	はじめての半導体製造装置
作者	前田和夫
出版社	工業調査会
シリーズ	ビギナーズブックス 3
サイズ	-
出版日	1999
版刷	初版1刷
定価	2000
頁	256p
函：帯	-：-
解題	-

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