書誌データ

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Jcode	c
NDC	n
code	4-7693-1164-8
ISBN13	9784769311645
商品名	半導体平坦化CMP技術
作者	土肥俊郎・河西敏雄・中川威雄
出版社	工業調査会
シリーズ	K・ブックス 134
サイズ	-
出版日	1998
版刷	初版1刷
定価	2400
頁	312p
函：帯	-：-
解題	超LSI製造のキープロセス

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