書誌データ

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Jcode	c
NDC	n
code	4-7828-5628-8
ISBN13	9784782856284
商品名	半導体ドライエッチング技術
作者	徳山巍編著
出版社	産業図書
シリーズ	集積回路プロセス技術シリーズ
サイズ	-
出版日	1992
版刷	初版1刷
定価	5600
頁	410p
函：帯	-：-
解題	-

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