書誌データ
Jcode
c
NDC
n
code
9784-7828-5628-4
ISBN13
9784782856284
商品名
半導体ドライエッチング技術
作者
徳山巍編著
出版社
産業図書
シリーズ
集積回路プロセス技術シリーズ
サイズ
-
出版日
1992
版刷
初版1刷
定価
5600
頁
410p
函:帯
-:-
解題
-
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