| c | n | 4-621-03583-5 | ULSIプロセスの基礎技術 | 古川静二郎編 | 丸善 | Maruzen Advanced Technology 電子・情報・通信編 | [書誌] |
| c | n | 4-7828-5625-3 | SOI構造形成技術 | 古川静二郎編著 | 産業図書 | 集積回路プロセス技術シリーズ | [書誌] |
| c | n | 9784621035832 | ULSIプロセスの基礎技術 | 古川静二郎編 | 丸善 | Maruzen Advanced Technology 電子・情報・通信編 | [書誌] |
| c | n | 9784782856253 | SOI構造形成技術 | 古川静二郎編著 | 産業図書 | 集積回路プロセス技術シリーズ | [書誌] |
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