書誌データ
Jcode
c
NDC
n
code
9784-87472-108-7
ISBN13
9784874721087
商品名
超LSIエレクトロニクス-3-製造技術編 〓
作者
エインズプラチ.N.G.編/金井康夫他訳
出版社
現代工学社
シリーズ
超LSIエレクトロニクス
サイズ
-
出版日
1983
版刷
初版1刷
定価
3000
頁
276p
函:帯
-:-
解題
微細構造科学
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