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書誌データ
Jcodec
NDCn
code9784-563-03605-8
ISBN139784563036058
商品名シリコン
作者阿部孝夫
出版社培風館
シリーズアドバンスト・エレクトロニクス・シリーズ_〓-5
サイズ-
出版日1994
版刷初版1刷
定価5800
304p
函:帯-:-
解題結晶成長とウェーハ加工


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