書誌データ

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Jcode	c
NDC	n
code	9784-542-51110-1
ISBN13	9784542511101
商品名	半導体製造の技術開発
作者	坂野進編
出版社	日本規格協会
シリーズ	品質工学応用講座
サイズ	-
出版日	1994
版刷	初版1刷
定価	3786
頁	366p
函：帯	-：-
解題

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