書誌データ
Jcode
c
NDC
n
code
4-8375-0645-3
ISBN13
9784837506454
商品名
VLSIとCVD
作者
前田和夫
出版社
槙書店
シリーズ
-
サイズ
-
出版日
1997
版刷
初版1刷
定価
6600
頁
410p
函:帯
-:-
解題
半導体デバイスへのCVD技術の応用
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