書誌データ

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Jcode	c
NDC	n
code	4-89466-092-X
ISBN13	9784894660922
商品名	半導体製造装置・材料総合ガイドブック 01〜02
作者	プレスジャーナル編監
出版社	プレスジャーナル
シリーズ	-
サイズ	-
出版日	2000
版刷	初版1刷
定価	25000
頁	378p
函：帯	-：-
解題	-

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