書誌データ

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Jcode	c
NDC	n
code	4-89466-051-2
ISBN13	9784894660519
商品名	300mm半導体プロセス製造装置・材料技術
作者	-
出版社	プレスジャーナル
シリーズ	-
サイズ	-
出版日	199901
版刷	初版1刷
定価	55000
頁	518p
函：帯	-：-
解題	-

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