書誌データ

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Jcode	c
NDC	n
code	4-87472-108-7
ISBN13	9784874721087
商品名	超LSIエレクトロニクス-3-製造技術編 〓
作者	エインズプラチ.N.G.編/金井康夫他訳
出版社	現代工学社
シリーズ	超LSIエレクトロニクス
サイズ	-
出版日	1983
版刷	初版1刷
定価	3000
頁	276p
函：帯	-：-
解題	微細構造科学

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