書誌データ

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Jcode	c
NDC	n
code	4-7693-1016-1
ISBN13	9784769310167
商品名	半導体研究 17
作者	西沢潤一編
出版社	工業調査会
シリーズ	半導体研究
サイズ	-
出版日	1981
版刷	初版1刷
定価	12000
頁	460p
函：帯	-：-
解題	超LSI技術 4 プロセス評価

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